シリコンフォトニクスに向けた新しい発光材料 －Er2SiO5 超格子結晶－

Si(100)基板上に堆積したErSiO非晶質薄膜より固相成長したEr2SiO5超格子結晶薄膜の透過型電子顕微鏡（TEM）断面写真（右図）とその高速フーリエ変換（FFTｏ）像（左図）

FFT像にはSi［011］入射に対する単結晶Siの各回折スポットおよびEr2SiO5超格子構造を示すn00スポット（n＝1～5）が表れている。
Si（100）基板上に配向したEr2SiO5超格子構造が形成されている。
（応用物理、第78巻、第5号、p.0427-0431（2009））